Mikroapdirbimas Femtosekundine spinduliuote
- Padalinys: Fizikos fakultetas
- Raktažodžiai: Lazerinis mikroapdirbimas, femtosekundinis lazeris, Pharos, Aerotech, terpių gręžimas, metalinių kaukių formavimas
Naudojamas femtosekundinio lazerinio mikroapdirbimo kompleksas, kurį sudaro femtosekundinis lazeris Pharos, Aerotech didelės eigos 5 ašių pozicionavimo sistema ir unikalus mikroapdirbimo aparatūrinis, diagnostinis kompleksas.
Pharos lazerio parametrai: bangos ilgis 1030 nm. Taip pat yra harmonikų modulis leidžia turėti šiuos išėjimo bangos ilgius:
515 nm (antros harmonikos maksimalus keitimo efektyvumas 59 %);
343 nm (trečios harmonikos maksimalus keitimo efektyvumas 29 %);
257 nm (ketvirtos harmonikos maksimalus keitimo efektyvumas 5 %).
Maksimali vidutinė galia P=20 W.
Impulso energija Eimp>400 μJ esant 1-5. kHz dažnių diapazonui. Trukmė τ<300fs.
Pluošto kokybė M2<1,3. Pluošto eliptiškumas >0,99. (0,99 esant P = 1 W ir 610 impulsų kHz pasikartojimo dažniui).
Aerotech pozicionavimo sistema pilnai sukomplektuota ant granitinės plokštės su tiltu, valdymo elektronika bei programine įranga. Techniniai pozicionavimo parametrai:
1) X ašies (ABL1500WB): maksimali eiga yra 300 mm, greitis 2 m/s.
2) Y ašies (ABL1500): maksimali eiga yra 300 mm, greitis 2 m/s.
3) Z ašies (ABL15020): maksimali eiga yra 200 mm, greitis 2 m/s, tikslumas ± 0,5 μm.
Sukamųjų ašių techniniai parametrai (ANT130-R):
1) 125 mm sukamosios dalies diametras, tikslumas ±3 kamp. sek., 0,9 μrad skiriamoji geba.
2) 120 mm sukamosios dalies diametras, tikslumas ±5 kamp. sek., 0,01 μrad skiriamoji geba Bendra sukamųjų ašių eiga: ±360°.
Taip pat sistema yra su 10 m/s pozicionavimo greičio, 1,5 m/s markiravimo greičio dviejų ašių pluošto valdymo sistema 1030 nm bangos ilgiui. Integruota židinio nuotolio sekimo sistema. Kompiuteris su instaliuota programine įranga, reikalinga dviejų ašių pluošto ir 5 ašių bandinio pozicionavimo sistemų valdymui.
Panaudojimo galimybės. Skaidrių terpių gręžimas, metalinių kaukių formavimas ir kt.
Kontaktai: