Spartus medžiagų atkaitinimas 0 – 1200 °C
Sukurta: 26 lapkričio 2018
- Padalinys: Fizikos fakultetas
- Raktažodžiai: Atkaitinimo krosnis, puslaidininkinių sluoksnių aktyvavimas
Temperatūrinis puslaidininkių plokštelių apdorojimas.
Kaitinimo krosnis pritaikyta kaitinti medžiagas iki 1200 °C, vakuume, azoto, argono arba deguonies atmosferoje arba išvardintų dujų mišinyje.
Kaitinimo sparta >150 K/s, vėsimo greitis ~100 K/min.
Kaitinimo kameros dydis 10x100x100 mm.
Panaudojimo galimybės. Paslauga skirta aktyvuoti neorganinių puslaidininkių epitaksinius sluoksnius, taip pat atkaitinti metalizuotus kontaktus.