Keturių zondų varžos matavimo ir puslaidininkinio kristalo laidumo tipo nustatymo prietaisas (Jandel keturių zondų sistema su RM3000 testavimo įranga)

Padalinys: Fizikos fakultetas

Raktažodžiai: Paviršinė varža, turininė varža, keturių zondų metodas, Jandel, RM3000

Atsakingas žmogus: Dr. Vitalijus Bikbajevas, tel. +37060034126,

Įranga skirta atlikti paviršinės bei tūrinės varžos matavimams keturių zondų metodu ir nustatyti bandinio laidumo tipą.

Platus parametrų intervalas, aukšta prietaiso kokybė, kontaktų varžos nebuvimas užtikrina tikslius rezultatus ir supaprastina matavimo procedūrą. Įrangos veikimas pagrįstas keturių adatos tipo elektrodų kontaktu su bandinio paviršiumi. Tekant elektros srovei per du elektrodus, kiti du naudojami susidariusiam potencialų skirtumui registruoti. Gauti ir apdoroti duomenys gali būti išsaugoti ir perkeliti į kompiuterį. Įranga idealiai tinka bet kokios formos nedidelių bandinių, turinčių plokščią paviršių, varžos ir laidumo tipui nustatyti.
Matuojamas vienas bandinys.
Matavimo įtampa: 0,01 - 1250 mV;
Matavimo srovės stipris: 10 nA – 99,99 mA;
Paviršinė varža: 1 mΩ/□ – 500 MΩ/□ (yra galimybė atlikti matavimus ir už šio intervalo ribų, tačiau mažėja rezultatų tikslumas);
Tūrinė varža: 1 mΩ.cm – 1 MΩ.cm (galimybė atliki matavimus už šio intervalo ribų priklauso nuo bandinio storio);
Bandinio diametras iki 76 mm.

Panaudojimo galimybės. Varžos matavimas keturių zondų metodu (paviršinės ir savitosios varžos nustatymui). Labiausiai tinkamas Silicio bei metalinių plonų sluoksnių technologijoms.