Plazminio valymo įrenginys Diener Zepto
Sukurta: 19 lapkričio 2018
- Padalinys: Fizikos fakultetas
- Raktažodžiai: Plazminis valymas, ėsdinimas, silicio padėklai, stiklo padėklai, Diener Zepto
- Atsakingas žmogus: Dr. Karolis Kazlauskas,
Plazminio valymo įrenginys skirtas padėklų (silicio, stiklo) valymui bei ėsdinimui.
Padėklo matmenys ne didesni nei: ilgis – 300 mm, plotis – 100 mm; Plazmos generavimo dažnis - 40 ±10% kHz; plazmos generatoriaus galingumas – tolydžiai keičiamas intervale nuo 0 iki 100 W.
Panaudojimo galimybės. Bandinių paruošimas matavimams.
